Учебное пособие. — Самара: Самарский государственный аэрокосмический университет, 2008. — 84 с. — ISBN 978-5-7883-0697-1.Изложены теоретические основы процессов, используемых в исследовании полупроводниковых материалов и их технологии и базирующихся на гетерогенном равновесии системы конденсированная фаза - газ. Рассмотрены особенности тензиметрических методов исследования материалов электронной техники. Описаны физико-химические основы исследования веществ и полупроводниковых материалов на их о...
Учебное пособие. — Самара: Самарский государственный аэрокосмический университет, 2008. — 84 с. — ISBN 978-5-7883-0697-1.Изложены теоретические основы процессов, используемых в исследовании полупроводниковых материалов и их технологии и базирующихся на гетерогенном равновесии системы конденсированная фаза - газ. Рассмотрены особенности тензиметрических методов исследования материалов электронной техники. Описаны физико-химические основы исследования веществ и полупроводниковых материалов на их основе.Предназначено для студентов специальности 210201 - Проектирование и технология радиоэлектронных средств.СодержаниеВведениеТеоретические основы процессов, используемых в исследовании полупроводников материалов и их технологии Роль процессов испарения и конденсации в технологии микроэлектроникиКлассификация процессов испаренияУравнение Клаузиуса-КлапейронаОбщий подход к равновесию системы конденсированная фаза-газРазличные формы уравнений температурной зависимости давления насыщенного пара и константы равновесияВычисление термодинамических величин по данным равновесияТензиметрические методы исследования полупроводниковых материаловСтатические методыКвазистатические методыДинамические методыМетод электродвижущих силТермохимические методы исследования полупроводников и диэлектриковОпределение стандартных теплот образованияОпределение теплоемкостиМасс-спектрометрический методГазохроматографический методСписок литературы Книга «Анализ и исследование полупроводниковых материалов» автора В. А. Федоров оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий