Читать онлайн «Анализ и исследование полупроводниковых материалов»

 ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 4 Настоящее пособие написано на основе курса лекций "Методы 1. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЦЕССОВ, исследования полупроводников". Ограниченный объем пособия не ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ИССЛЕДОВАНИИ позволил включить материалы всего курса лекций. В частности, авто­ ПОЛУПРОВОДНИКОВ МАТЕРИАЛОВ И ИХ ТЕХНОЛОГИИ 5 ры были вынуждены исключить ряд численных примеров, иллюстри­ 1. 1. Роль процессов испарения и конденсации в технологии рующих некоторые особенности термодинамики гетерогенных равно­ микроэлектроники... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 5 весий. Данное пособие состоит по существу из шести частей. 1. 2. Классификация процессов испарения... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 10 Первая часть посвящена рассмотрению роли методов исследова­ 1. 3. Уравнение Клаузиуса-Клапейрона... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 12 ния полупроводников и различных материалов в технологии микро­ 1. 4. Общий подход к равновесию системы конденсированная электроники. ф а з а -г а з ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 17 Во второй части излагаются принципы термодинамических ме­ 1. 5. Различные формы уравнений температурной зависимости тодов исследования материалов электронной техники, рассматривают­ давления насыщенного пара и константы равновесия... ... ... ... ... ... ... ... 20 ся теоретические основы этих методов, некоторые особенности поста­ 1. 6. Вычисление термодинамических величин по данным новки эксперимента, а также обработка результатов экспериментов и равновесия... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 22 подход к их трактовке. Эта часть представляет особый интерес в связи 2. ТЕНЗИМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ с развитием методов компьютерного расчета сложных гетерогенных и ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 26 гомогенных равновесий с целью создания новых технологических пу­ 2. 1.