И. Н. Шиганов

Рассмотрены теоретические основы лазерной обработки и обобщены аналитические и численные методы анализа физических процессов при воздействии лазерного излучения на различные материалы. Представлены технологии лазерной термической и химико-термической обработки, легирования, оплавления, наплавки, сварки, резки и других высокоэффективных процессов лазерной обработки. Изложены особенности лазерных те...

Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки...