$4сслФАованн4ф
к1Ф теФрх4&п
$!рФщФ**Фж
укхр8вле&пр{ж
св*Ёаств&ми
кРрЁстАллФж
Рн слФнв
!ФР
'Ёц]
министвРство пРосввщРния у3Бвкскои ссР
сь1 РдАРьи нскии госудАРств в ннь1и п вдАго гичв скии
институт имР. ни гАФуРА гулямА
)
в. н. РомАнвнко, Р. х. кАРимов,
т. п. умуР3Аков
исслвдовАнив по твоРи[4
пРоцвссов упРАвлвния
свойствАми кРистАллов
и словв
тАшквнт
и3дАтвльство <ФАн} у3Бвкскои ссР
!987
удк 537. 313. 33
АР,"вук €. Ё. ' :\4. окрицкий Б. А. , Романенко в. н. ' каримовР. {,. -
9мурзаков 1. |1. }|сследование по теории процессов управления свойства_
ми кристаллов и слоев. 1ашкент: Фан. 1987. 56 с. Б монографии представлень1 результаты решения 3адач по теории явлений
массопере|{оса, протекающи. х при >кидкофазной эпитаксии с"[оев полупроводни_
ковых материалов. 9асть задач впервь1е решена примен].
1тельно к эпитаксии
способом принудительг1ого охла)кдения раствора_расплава' ограниченного двумя
гори3онтально располо}кеннь!ми под":1ох(ка},1и. [!олуненньте данные использова-
ны для управлен]. ]я толщиной, структурнь|ми и другими своЁ;ствами слоев на
!римере соединения типа А3Б5.
. [,ля наунных ра6отников, аспирантов' преподавателей и студентов. Ал. _25' 6и6л. - 35 назв. вввдвнив
Фтветственный редактор
ч/1ен-корреспондент АЁ }з€€Р Р. А. йцмт;нов
Раз;витие и усовор1пенство,вание элемонтной базьт т'вердотель-
Рецензенты: ной электроники требует !рас1пирения как асс;орти}{ента' так |4
канд|{дать| технических наук 3. [. Аб0цкаршмов, \'. !. Акрамов' диапаз'о)на 3начений параметров пол!п!:0водниковь1х матер]иал|ов. кандидаты физико-математическ!'!}: наук 1. Р. Рцсбаев, 3. |(ашчанов 1раАишио'нньт,е пр0мь||пленнь1е методь| получения их объемнь1х
моно]кри1сталло1в не могут в полной 'мере удовлетв,о,рять таким
требова)ниятм в3]{А} недостаточно,] управляем1о|ст1. { процессами вь1-
ращива]ния слитко,в. € этой точки з;рения от них вь]подно отли-
чаются !м'етодьт то;!1{0нт:й!9ванного }та!?11{}1:в2ния (эпитаксия) сло|ев
€ергеЁ: Ёиколаевич !,раннук,
Бадтам Анато'. |ьевич }4окрицкий, полуцр о1водн'иковь1х ш1 атер]иалов. Бладимир Р|ико. таевич Романенко, |[р'оцеосьт э. [1птакси'||, св1ойства получае'шть!х слоев 3ависят от
Раипл {абибевин (аримов, больштого числа взаим'освяза1нньтх факторов, нто 3атрудняет их
1ашпулат |!арАаевин }мурзаков промьт1пленн'ое применение.