Читать онлайн «Варизонные полупроводники и гетероструктуры»

r՜»  O E flE P A /lb H A fl UE/1EBAP [IP O rP A M M A « fO C y A A P C T B E H H A fl n O A Q E P ^ K A H H T E rP A U M H B b lC U lE fO 0 E P A 3 0 B A H H S M O y H A A M E H T A /lb H O M H AyKH HA 1997— 2000 T O flb l- HOBblE PA3flEnbl OM3MKM nOJlYnPOBOflHUKOB B. H. MjibHH, C. Փ. M ycH XHH , A. H. ff ia K BAPH30HHM E nojiynpoBO /i;H H KH H rE T E P O C T P y K iy P b l Ilo d o6w,eu pedaicuueu B . l i . M m u h o u A . Ո . Ilh iK a PeKOMendoeano e Kauecmee yneSuoio noco6un djui cmydenmoe, o6ym2totu,։ixca no Hanpaejiemno «TexHuuecKaa cpu3UKa* CaHKT-neTep6ypr «HayKa» 2000  ГЛАВА 1 ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ДИАГРАММЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ИЗМЕНЯЮ ЩИМСЯ ПО КООРДИНАТЕ ХИМИЧЕСКИМ СОСТАВОМ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР 1Л. Классификация полупроводников и структур на их основе Основной химический состав полупроводникового кристалла определяют, указывая химическую формулу — символ элемента или формулу соединения, например: германий — ве, кремний — Бц арсенид галлия — ваАз, карбид кремния — БЮ и т. д. Ши­ роко используются полупроводники на основе твердых раство­ ров элементов или соединений. Состав твердого раствора оп­ ределяют, указывая мольные доли компонентов. Например, твердые растворы в системах кремний—германий — Ое, теллурид кадмия—теллурид ртути — _уТе, арсенид алю­ миния—арсенид галлия — А^ва, -^Аб и т. д. , где у — мольная доля компонента в твердом растворе. Основной химический состав полупроводников на основе твердых растворов может изменяться с координатой. Наряду с компонентами основного химического состава по­ лупроводник может содержать примесь. При неоднородном легировании химический состав полупроводника также изме­ няется с координатой. В общем случае химический состав полупроводника может изменяться с координатой вследствие изменения как основ­ ного химического состава, так и содержания примеси. До тех пор пока изменение состава с координатой происходит плав­ но, свойства полупроводника следуют изменению состава — сохраняется локальная связь между химическим составом и свойствами полупроводника. В ртом случае образец полупро­ водника представляет собой либо варизонный полупроводник — твердый раствор переменного состава (при изменении с коор­ динатой основного химического состава), либо неоднородный полупроводник (при изменении содержания примеси). Рис. 1. 1. Классификация полупроводников с изменяющимся по коор­ динате химическим составом и полупроводниковых структур. Если градиент химического состава (градиент мольного компонента или градиент концентрации примеси) превосходит некоторую величину, связь между химическим составом и свойствами полупроводника становится нелокальной, напри­ мер концентрация носителей тока не соответствует локальному составу полупроводника.