Уведомлений еще не было

Книги Валерия Киреева

Валерий Киреев - автор 1 книги. Из известных произведений можно выделить: Ионное травление микроструктур. Все книги можно читать онлайн и бесплатно скачивать на нашем портале.

Фильтры
Год написания

Тип сюжета
Тема
Герои
Место действия
Время действия
Электроника
0.0
0
0
Ионное травление микроструктур
Ионное травление микроструктур

Приводится классификация процессов травления материалов, используемых при производстве микроэлектронных приборов, рассматриваются механизм ионного распыления, зависимости коэффициента распыления и скорости ионного травления от физических, химических и технологических факторов. Анализируются особенности режимов откачки, переноса изображения, выбора и обработки маскирующих материалов, а также радиац...