Ñ. Á. Íåñòåðîâ
Þ. Ê. Âàñèëüåâ
À. Â. Àíäðîñîâ
ÌÅÒÎÄÛ ÐÀÑ×ÅÒÀ
ÂÀÊÓÓÌÍÛÕ
ÑÈÑÒÅÌ
Ìîñêâà Èçäàòåëüñòâî ÌÝÈ 2004
УДК 621. 52. 001. 24 (075. 8)
ББК 31. 77я73
Н 561
Гранты Президента РФ на поддержку молодых российских ученых
и ведущих научных школ на выполнение научных исследований
№№ МК-1305. 2003. 02, МК-4185. 2004. 08, НШ-1517. 2003. 08
Р е ц е н з е н т ы : доктор техн. наук, профессор МАТИ-РГТУ им. К. Э. Циолковского
В. В. Слепцов; доктор техн. наук, профессор, зав. кафедрой МТ-11
МГТУ им. Н. Э. Баумана Ю. В. Панфилов
Нестеров С. Б. , Васильев Ю. К. , Андросов А. В. Н561 Методы расчета вакуумных систем. — М. : Издательство МЭИ,
2004. — 220 с. : ил. ISBN 5-7046-1012-9
Описаны методы расчета сложных вакуумных систем, а также рассмотрены
примеры применения данных методов для решения прикладных задач. Для студентов специальности «Техника и физика низких температур»
института теплоэнергетики и технической физики МЭИ. Табл. 23. Ил. 132. Библиогр. 11 назв. УДК 621. 52. 001. 24 (075. 8)
ББК 31. 77я73
ISBN 5-7046-1012-9 © Нестеров С. Б. , Васильев Ю. К. , Андросов А. В. , 2004
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 5
Основные условные обозначения ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 6
Введение ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 7
Г л а в а 1 . Основные понятия вакуумной техники ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 10
Г л а в а 2 . Mетоды расчета ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 15
2. 1. Обзор методов расчета... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ...
... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 15
2. 2. Метод угловых коэффициентов ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 25
2. 2. 1. Основные понятия... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 25
2. 2. 2. Расчет угловых коэффициентов... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 27
2. 2. 3. Примеры решения задач методом угловых коэффициентов ... ... ... ... . . 36
2. 3. Метод Монте-Карло пробной частицы для свободномолекулярного
режима ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 45
2. 3. 1. Описание общего алгоритма ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 45
2. 3. 2. Построение полярных диаграмм скоростей частиц ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 59
2. 3. 3. Нахождение пространственного распределения частиц... ... ... ... ... ... ... 61
2. 3. 4. Типы угловых распределений ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 63
2. 3. 5.