Читать онлайн «Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем»

И. А. БЕЛОВ В. А. ШЕЛЕНШКЕВИЧ Л. И. ШУБ ИИ**0" у**»*0* привое имик РОСХЕ^1 Ленинград "Политехника1 1991 УДК 621. 382. 2/. 3. 002:532 Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления по;гу. цроводниковых приборов и микросхем/И. А. Бело*,* В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. — Л. : Политехника, 1991. —287 с. — ISBN 5-7325-0001-4 ^ В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массооб- мена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в области технологии приборостроения. Библиогр. : 74 назв. Ил. 148. Табл. 12. с 2304040000—018 tQ _. Б 046(01)—91 18~91 ISBN 5-7325-0001-4 © И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб, 1991 ПРЕДИСЛОВИЕ Книга, предлагаемая вниманию читателя, никогда не была бы подготовлена, по крайней мере данным коллективом авторов — специалистов в области технологии приборострения и гидромеханики, не сложись своевременно их творческий союз. Хотя определенную роль в объединении авторов сыграл случай, все же, справедливости ради,, следует отметить, что появление книги далеко не случайно. С одной стороны, идея ее создания оправдана потребностями техники в строго научном обосновании технологии микроэлектроники для обеспечения надежности выпускаемых приборов, повышения их качества, разработки малоотходной технологии и других производственных целей. С другой стороны, в гидромеханике, используемой для анализа технологических режимов, в последние годы сложилось направление, которое в литературе получило определение вычислительной гидродинамики и которое основано на математическом моделировании соответствующих процессов с помощью методов, предполагающих применение ЭВМ. Аппарат вычислительной гидродинамики, или, как теперь часто говорят, вычислительного эксперимента, позволяет получать количественную информацию о различных процессах, имеющих гидромеханическую природу. В настоящей книге предпринята попытка его использования для решения задач технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Таким образом, вполне конкретная технологическая направленность книги сочетается с логически оправданным включением в нее вопросов численного моделирования течений жидкости и газа и решения возникающих при этом задач, которые по своей сути представляют предмет исследований вычислительной гидродинамики.