Читать онлайн «Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов по специальностям «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы»»

'А. И. Курносов В. В. Юдин ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА полупроводниковых приборов и интегральных микросхем ИЗДАНИЕ ТРЕТЬЕ, ПЕРЕРАБОТАННОЕ И ДОПОЛНЕННОЕ Допущено Министерством высшего и среднего специального образования СССР в качестве учебного пособия для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы» МОСКВА «ВЫСШАЯ ШКОЛА 1986 6Ч°0,3& К 93 удк бм. з8. еаа4075) Рецензент — кафедра микроэлектроники Московского инженерно-физического института (зав. кафедрой д-р техн. наук, проф. Шальнов А. В. ) Курносое А. И. , Юдин В. В. К 93 Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие для вузов по спец. «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы». — 3-е изд. , перераб. и доп. — М. : Высш шк. , 1986. — 368 с, йл. В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е — в 1979 г. ) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам. 2403000000—415 001(01)—86 -КБ № 18-19-86 S ББК 32. 852 6Ф0. 32 УЧЕБНОЕ ИЗДАНИЕ Анатолий Иванович Ь Владимир Васильевы ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ Заведующий редакцией Л. А. Романова. Редактор И. Г. Волкова. Художник Ф. Н. Буданов* Художественный редактор Т. М. Скворцова. Младшие редакторы И. А. Исаева, И. А. Титова. Технический редактор Л. А. Григорчук. Корректор Г. И. Кострикова ИБ 5404 Изд № Эр-394. Сдано в набор 27. 03. 86. Подп. в печать 21. 07. 86. Т-07590. Формат 60x90'/i6. Бум. кн. -журн. № 2. Гарнитура литературная. Печать высокая. Объем 23 усл. . печ. л. 23 усл. кр. -отт. 25,46 уч. -изд. л. Тираж 22 000 экз. Зак. № 210. Цена 1 р. 30 к. Издательство «Высшая школа». 101430, Москва, 1ГСП-4, Неглнниая ул. , д. 29/14. 101898. Москва. Центр, Хохловский пер. , 7. комитете © Издательство «Высшая школа», 1974 Издательство «Высшая школа,, 1986, с изменениями Предисловие Одним из главных путей научно-технического прогресса, как указано в Основных направлениях экономического и социального развития на 1986—1990 годы и на период до 2000 года, утвержденных XXVII съездом КПСС, является развитие радиоэлектроники и особенно микроэлектроники, позволяющей значительно повысить технический, технологический и организационный уровни производства на базе микропроцессорной техники, оптоэлектроникн и других видов полупроводниковой электроники. Основная тенденция развития микроэлектроники состоит в переходе от изготовления полупроводниковых дискретных приборов к созданию интегральных микросхем (ИМС) -со все более высоким . уровнем интеграции элементов. Постоянное совершенствование полупроводниковой технологии и соответствующее обновление типовых программ по дисциплине «Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем» для специальностей 0629, 0604, 0643 повлекло существенную переработку данной книги.