Читать онлайн «Исследование пленок и наноструктур с помощью сканирующего зондового микроскопа. Лабораторный практикум: Учебное пособие»
Автор Сергей Антоненко
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ
ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИФИ»
С. В. Антоненко
ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК
И НАНОСТРУКТУР С ПОМОЩЬЮ
СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО
МИКРОСКОПА
Лабораторный практикум
Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии»
в качестве учебного пособия
для студентов высших учебных заведений
Москва 2011
УДК 539. 2 (076. 5)
ББК 34. 43я7
А 72
Антоненко С. В. Исследование пленок и наноструктур с по-
мощью сканирующего зондового микроскопа. Лабораторный
практикум: Учебное пособие. М. : НИЯУ МИФИ, 2011. – 96 с. Лабораторный практикум посвящен изучению свойств пленок,
наноструктур, наноматериалов с помощью сканирующей зондовой
микроскопии, при этом существенное внимание уделено техноло-
гических процессам получения образцов для таких исследований. Лабораторный практикум выполняется в режиме как локального,
так и удаленного доступа интерактивного учебно-научного ком-
плекса для выполнения работ по исследованию наноструктуриро-
ванных материалов, объектов и систем методами сканирующей
зондовой микроскопии. Практикум предназначен для студентов, обучающихся по спе-
циальности «Физика конденсированного вещества» и специализи-
рующихся по кафедре «Компьютерного моделирования и физики
наноструктур и сверхпроводников», а также может быть рекомен-
довано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения
квалификации и переподготовки специалистов в области получе-
ния и исследования пленок, наноструктур и наноматериалов. Подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ
МИФИ. Рецензенты: канд. физ. -мат. наук, доц. А. А. Лаврухин (НИЯУ
МИФИ); зав. кафедрой материаловедения ИАТЭ НИЯУ МИФИ
В. А. Степанов. ISBN 978-5-7262-1428-3
© Национальный исследовательский ядерный университет
«МИФИ», 2011
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 4
Порядок выполнения лабораторных работ…………………. 5
Лабораторная работа 1. Контактная атомно-силовая
микроскопия... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 6
Лабораторная работа 2. Полуконтактная атомно-силовая
микроскопия... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ...
... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 21
Лабораторная работа 3. Многопроходные методы
атомно-силовой микроскопии... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 31
Лабораторная работа 4. Проведение измерений
в магнитном поле... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 44
Лабораторная работа 5. Проведение измерений с помощью
СЗМ в вакууме... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 51
Лабораторная работа 6. Основы статистической обработки
результатов измерений СЗМ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 59
Лабораторная работа 7.
