Читать онлайн «Численное моделирование микроэлектронных структур»

СХ. ЛЩ. С. Г. Лфяярчик Численное моделирование /ИИКРО Э/1ЕКТРОННЫХ СТРУКТУР В МИНСК ИЗДАТЕЛЬСТВО «УНИВЕРСИТЕТСКОЕ» 1989 УДК 621. 382. 82. 001 Мулярчик С. Г. Численное моделирование микроэлектронных структур —Мн. : Университетское, 1989 — 368 с—ISBN 5-7855-0045-0. Монография посвящена вопросам постановки, методам и алгоритмам решения задачи численного моделирования микроэлектронных структур. Содержит обобщающее введение в проблему получения математических моделей полупроводниковых структур, берущую свое начало в закономерностях электромагнитных процессов, выраженных уравнениями Максвелла. Главное внимание уделяется аспектам автоматизации численного моделирования, созданию вычислительного инструментария проверки модельных технолого-конструк- тивных решений. Результаты теоретических исследований иллюстрируются большим количеством примеров и рисунков. Адресуется специалистам в области автоматизации проектирования в микроэлектронике, инженерам-разработчикам полупроводниковых приборов и интегральных схем. Может быть полезной студентам и аспирантам, специализирующимся в области микроэлектроники и автоматизации проектирования. Библиогр. 228 назв. Ил. 94. Табл. 26. Рецензенты: доктор технических наук, профессор И. П. Норенков; доктор технических наук, профессор В. А. Мищенко Научное издание Мулярчик Степан Григорьевич ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУР Зав. редакцией Л. Ф. Берниковская. Редакторы Б. С. Me л ь- ников, Л. Ф. Берниковская. Младший редактор Т. А. Р ы ж- к о в а. Художественный редактор СВ. Б а л е н о к. Технический редактор Г. М. Р о м а н ч у к. Корректоры Л. В. Лебедева, А. А. С р о г и с. ИБ № 1043 Сдано в набор 02. 02. 88. Подписано в печать 18. 01. 89. AT 05131. Формат 84Х Х108/з2. Бумага типографская № 1. Гарнитура литературная. Высокая печать. Усл. печ. л. 19,32. Усл. кр. -отт. 19,32. Уч. -изд. л. 19,91. Тираж 2955 экз. Заказ 771. Цена 3 р. 30 к. Издательство «Университетское» Государственного комитета БССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли. 220048, Минск, проспект Машерова, 11. Ордена Трудового Красного Знамени типография издательства ЦК КПБ. 220041, Минск, Ленинский проспект, 79. шя 2302030700-021 ММ317(03)-89 44~88 © Издательство ISBN 5-7855-0045-0 «Университетское», 1989 ПРЕДИСЛОВИЕ Характерной особенностью современного научно-технического прогресса в области создания сложных технических систем и, в частности, изделий микроэлектронной техники — больших и сверхбольших интегральных схем (БИС и СБИС), является широкое внедрение систем автоматизированного проектирования (САПР). Сегодня подсистемы САПР, решающие задачи функционально- логического, схемотехнического, конструкторского уровнен проектирования, успешно эксплуатируются во многих проектных организациях страны и за рубежом. В то же время важный, в значительной мере определяющий качество разрабатываемого изделия компонентный уровень, интегрирующий в себе три главных аспекта микроэлектроники — физический, технологический, схемотехнический (его элементы, свойственные функциональным фрагментам), наиболее слабо обеспечен вычислительными средствами «машинного» проектирования.