Министерство образования и науки России
Федеральное государственное бюджетное образовательное
учреждение высшего профессионального образования
«Казанский национальный исследовательский
технологический университет»
Федеральное государственное автономное образовательное
учреждение высшего профессионального образования
«Санкт-Петербургский государственный университет
аэрокосмического приборостроения»
М. Х. Хабланян, Г. Л. Саксаганский, А. В. Бурмистров
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
ОБОРУДОВАНИЕ, ПРОЕКТИРОВАНИЕ,
ТЕХНОЛОГИИ, ЭКСПЛУАТАЦИЯ
Часть I
ИНЖЕНЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
Учебное пособие
Казань
Издательство КНИТУ
2013
УДК 621. 52
ББК 31. 77
Хабланян М. Х. Вакуумная техника. Оборудование, проектирование, технологии, эксплуа-
тация. Ч. 1. Инженерно-физические основы : учебное пособие / М. Х. Хабланян,
Г. Л. Саксаганский, А. В. Бурмистров; М-во образ. и науки России, Казан. нац. исслед. технол. ун-т. – Казань : Изд-во КНИТУ, 2013. – 232 с. ISBN 978-5-7882-1447-4
Рассмотрены свойства разреженных газов; режимы и закономерности их
течения; массо – и теплоперенос и электрические явления в условиях вакуу-
ма; способы и средства его получения; понятийный аппарат вакуумной тех-
ники; алгоритм проектирования высоко- и сверхвысоковакуумных систем. Приведен краткий обзор областей практического использования вакуума как
уникальной технологической среды.
Представлена ретроспектива развития
физики и техники вакуума. Предназначено для подготовки инженеров по специальности «Вакуум-
ная и компрессорная техника физических установок» и бакалавров по на-
правлениям «Технологические машины и оборудование», «Наноинженерия»,
«Ядерная энергетика и теплофизика», «Материаловедение и технология ма-
териалов». Также может быть полезно для специалистов и преподавателей
соответствующих профилей. Печатается по решению редакционно-издательских советов Казанского
национального исследовательского технологического университета и Санкт-
Петербургского государственного университета аэрокосмического приборо-
строения. Рецензенты: д-р техн. наук, профессор Ю. В. Панфилов
д-р техн. наук, профессор Р. Р. Зиганшин
ISBN 978-5-7882-1447-4 © Хабланян М. Х. , Саксаганский Г. Л. ,
Бурмистров А. В. , 2013
© Казанский национальный исследовательский
технологический университет, 2013
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие 6
1. Понятие о вакууме 10
1. 1. Что такое вакуум? 10
1. 2. Вакуумные технологии в промышленности и науке 12
Контрольные вопросы 24
2. Свойства газов 25
2. 1. Давление, плотность, молекулярная концентрация 25
2. 2. Уравнение состояния идеального газа 28
2. 3.