Читать онлайн «Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники»

В. Д ГИМПЕЛЬСОН ЮА. РАДИОНОВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ ДЛЯ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКИ ВГД. ГИМПЕЛЬСОН, Ю. А. РАДИОНОВ ТОННОПЛЕНОЧНЫЕ МИНРОСХЕМЫ ДЛЯ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКИ Москва „МАШИНОСТРОЕНИЕ" 1976 6ФО. З Г48 УДК 681. 2 Редактор инж. Е. Е. Скворцов Рецензент д-р техн. наук проф. Ю. Р. Носов Гимпельсон В. Д. , Радионов Ю. А. Г48 Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники. М. , «Машиностроение», 1976. 328 с. В книге рассмотрены вопросы конструирования и технологии производства гибридных тоикопленочиых микросхем. Описаны элементы тоикоплеиочиых микро- микросхем, материалы для их изготовления. Представлены необходимые сведения для расчета элементов. Рассмотрены методы, технология и оборудование для изготовления тонкопленочиых слоев, рисунка элементов схемы, а также вопросы технологии сборочио-монтажных работ. Отдельно рассмотрены проблемы создания многокристальных больших интегральных схем. ПРЕДИСЛОВИЕ В настоящее время в народнохозяйственных планах страны большое внимание уделяется дальнейшему расширению номен- номенклатуры изделий приборостроения, увеличению выпуска прибо- приборов, средств автоматизации и вычислительной техники. Основными путями решения этих задач следует считать: создание агрегатных средств вычислительной техники повы- повышенной надежности на микроэлектронной элементной базе для автоматизированных систем управления технологическими про- процессами и производствами в различных областях народного хозяйства; создание агрегатной системы средств сбора, регистрации и обработки информации на интегральных микросхемах; создание агрегатированного комплекса средств электроизме- электроизмерительной техники на микроэлектронной элементной базе; создание комплексов приборов промышленной автоматики, систем централизованного контроля и средств телемеханики на основе интегральных микросхем; создание и освоение промышленного выпуска электронных часов со стрелочной и цифровой индикацией. Во всех указанных направлениях решающая роль принадле- принадлежит микроэлектронике. Переход на микроэлектронную элемент- элементную базу позволяет успешно решать задачи повышения надеж- надежности, точности и быстродействия аппаратуры. При этом значи- значительно улучшаются экономические показатели производства и эксплуатации за счет повышения степени механизации и автома- автоматизации работ, сокращения трудоемкости сборочных и монтажных операций, сокращения времени разработки и длительности про- производственного цикла; увеличивается срок службы, сокращаются затраты на техническое обслуживание, уменьшаются энергоза- энергозатраты, масса и габариты аппаратуры. В отличие от других направлений микроминиатюризации микроэлектроника, наряду с резким уменьшением габаритов и повышением плотности упаковки микросхем и устройств, в целом приводит: к значительному повышению надежности за счет разработки контролируемых и надежных технологических процессов, исполь- использования новых физических принципов работы элементов, исклю- исключения ненадежных элементов и использования резервирования, уменьшения числа соединений в микросхеме и совершенствования методов их получения и, наконец, за счет облегчения режимов работы микросхем при низких уровнях напряжения, характер- характерных для микроэлектроники; к повышению технико-экономических показателей микросхем за счет использования групповых методов обработки, уменьше- уменьшения числа соединений, увеличения числа элементов в одной общей упаковке, а также за счет повышения срока службы изделий.