МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
Л. П. Борило
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ
НЕОРГАНИЧЕСКИЕ
НАНОСИСТЕМЫ
Томск
2012
УДК 546:620. 22
ББК 24. 1
Б82
Борило Л. П. Б82 Тонкопленочные неорганические наносистемы / под ред. д-ра техн. наук, проф. В. В. Козика. – Томск : Томский
государственный университет, 2012. – 134 с. ISBN 978-5-94621-362-2
В данной работе рассмотрены отличительные особенности тонкопленоч-
ного состояния вещества и классификация тонких пленок, являющихся объек-
тами физикохимии наносистем. Проведен анализ способов получения тонких. Описаны основные физико-химические факторы, обусловливающие получе-
ние пленок по золь-гель технологии. Показаны физико-химические законо-
мерности и свойства пленок, полученных из пленкообразующих растворов на
основе оксидных систем элементов III–V групп периодической системы. Для научных работников, занимающихся исследованиями в области полу-
чения и использования тонкопленочных материалов. Может быть полезна
преподавателям, аспирантам и студентам, специализирующимся в области не-
органического материаловедения. УДК 546:620. 22
ББК 24. 1
Рецензенты:
д-р хим.
наук, профессор Т. Г. Черкасова,
д-р техн. наук, профессор В. И. Верещагин
ISBN 978-5-94621-362-2 © Борило Л. П. , 2012
© Томский государственный университет, 2012
ВВЕДЕНИЕ
Мир обойденных величин ... В. Оствальд
Пленочные материалы имеют особое значение в развитии циви-
лизации, основанной на высоких технологиях. Особое место в совре-
менной технике занимают источники света - это изделие, тираж и
номенклатура выпуска которого почти не имеют аналогов. Это одни
из самых совершенных и сложных приборов по совокупности ис-
пользуемых физико-химических процессов. Массовый выпуск источ-
ников света ограничен чрезвычайно жесткими рамками, влияющими
на выбор оптимальных конструкций и технологий. В настоящее вре-
мя светотехническая промышленность мира предлагает более 1000
различных типов источников света, их общий выпуск приближается к
11010 шт. в год. Тонкопленочные материалы уже давно успешно ис-
пользуются в производстве источников света. По функциональному
назначению в светотехнике различают защитные и упрочняющие,
перераспределяющие и рассеивающие световой поток, отражающие
часть спектра излучения тонкопленочные покрытия. Из известных
типов тонкопленочных материалов наиболее значимыми для источ-
ников света являются светоперераспределяющие. С помощью селек-
тивных светоперераспределяющих тонких пленок можно управлять
параметрами источников света и существенно улучшать их светотех-
нические характеристики. Поглощающие покрытия применяется в
тех случаях, когда из общего светового потока необходимо убрать
(или уменьшить) излучение в определенном диапазоне.