Читать онлайн «Электрофизические вакуумные насосы»

ПЛ. САКСАГАНСКИЙ Электрофизические вакуумные насосы i ' , * I i Ц' » ' I МОСКВА ЭНЕРГОАТОМИЗДАТ 1988 УДК533. 5 Саксаганский Г. Л. Электрофизические вакуумные насосы'. М. : Энергоатомиздат, 1988. - 280 с. - ISBN 5-283-03913-7. Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных и ионно- геттерных, магнитных эпектроразрядных, комбинированных, орбит- ронных, сорбционных, на основе термоактивируемых нераспыляемых 'геттеров и других типов электрофизических насосов. Изложены принципы н критерии нх оптимизации, инженерные методы расчета вакуумных и электрических характеристик, типичные эксплуатационные режимы. Для научных работников и инженеров. Может быть полезна также студентам вузов и аспирантам. Табл. 54. Ил. 111. Библиогр. : 144 назв. Рецензент Б. Н. Яблоков 1704070000-038 „ ао С 051(00-88 23_88 ISBN 5-283-03913-7 © Энергоатомиздат, 1988 ПРЕДИСЛОВИЕ Для вакуумной техники последнее десятилетие было периодом интенсивного промышленного освоения результатов предшествующих исследований по созданию безмасляных средств откачки. Арсенал сверх- высоковакуумных технологий обогатился также экспериментальными устройствами, основанными на новых физических принципах. Достигнут существенный прогресс в понимании процессов, протекающих при высоковакуумной откачке газов этими устройствами, что позволило сформулировать критерии их технико-экономической. оптимизации, резко повысить эксплуатационную надежность, технологичность, ресурс, уменьшить стоимость, массу и габариты. Для электрофизических насосов характерно разнообразие физических принципов и сфер применения. К их числу обычно относят все типы насосов поверхностного действия, в которых для создания и активации сорбирующихпОверхностейиспользуются электрический разряд в вакууме, резйстивный и электронно-лучевой нагрев, потоки ускоренных заряженных частиц, электромагнитное излучение. Ориентация на электрофизические насосы определяется возможностью получения практически неограниченной быстроты действия при отсутствии в остаточном газе тяжелых углеводородов. Некоторые их типы отличают высокая экономичность, способность к саморегулированию расхода геттера, значительный ресурс. Эти достоинства предопределили масштабность и высокую эффективность практического использования электрофизических насосов, их ведущую роль при решении важнейших задач вакуумной технологии. Массовый переход на электрофизические средства откачки преобразил Многие области промышленного использования вакуума и научного приборостроения. Специфика и своеобразное изящество физико-химических механизмов, определяющих работу электрофизических насосов, привели к кардинальному пересмотру даже самих принципов построения вакуумных систем. Вот лишь один пример. В нашей стране в начале 60-х годов были предложены и получили затем широкое распространение в СССР и за рубежом интегрированные вакуумные системы "ускорителей и термоядерных установок. В этих системах электродные блоки электрофизических насосов встроены непосредственно в откачиваемую камеру; для их функционирования используются собственные электромагнитные 3 поля установок или циркулирующих в них пучков заряженных частиц.