МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ
РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ
Белорусский национальный
технический университет
Кафедра «Микро- и нанотехника»
ТУ
Е. Н. Щербакова
БН
й
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ри
НАНО- И МИКРОСИСТЕМНОЙ
ТЕХНИКИ
о
ит
Учебно-методическое пособие
з
по
Ре
Минск
БНТУ
2017
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ
Белорусский национальный технический университет
Кафедра «Микро- и нанотехника»
Е. Н. Щербакова
ТУ
БН
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
НАНО- И МИКРОСИСТЕМНОЙ
й
ТЕХНИКИ
ри
Учебно-методическое пособие
для студентов специальности 1-38 01 04
о
«Микро- и наносистемная техника»
ит
Рекомендовано учебно-методическим объединением
по образованию в области приборостроения
з
по
Ре
Минск
БНТУ
2017
1
УДК 621. 382. 049. 77:004(075. 8)
ББК 32. 81я7
Щ61
Рецензенты:
кафедра электронной техники и технологии
Белорусского государственного университета информатики
ТУ
и радиоэлектроники (зав. кафедрой А. П. Достанко);
декан факультета непрерывного и дистанционного обучения
Белорусского государственного университета информатики
и радиоэлектроники, доц. , канд. техн. наук В. М.
Бондарик
БН
й
ри
Щербакова, Е. Н. Информационные технологии нано- и микросистемной техники :
о
Щ61
учебно-методическое пособие для студентов специальности 1-38 01 04
ит
«Микро- и наносистемная техника» / Е. Н. Щербакова. – Минск:
БНТУ, 2017. – 78 с. ISBN 978-985-550-608-0. з
В учебно-методическом пособии представлены материалы из лекционного и прак-
по
тического курса дисциплины: общие характеристики процессов сбора, передачи, об-
работки и хранения информации; организация информационных процессов; инфор-
мационные технологии при выборе решений в области технологии нано- и
микросистемной техники, организации, планирования и управления производством, а
также автоматизированные системы научных исследований, САПР, МЭМС и НЭМС,
Ре
технологии компьютерного моделирования нано- и микросистемной техники. УДК 621. 382. 049. 77:004(075. 8)
ББК 32. 81я7
ISBN 978-985-550-608-0 © Щербакова Е.