Читать онлайн «Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел»

Е. С. Машкова В. А. Молчанов ПРИМЕНЕНИЕ РАССЕЯНИЯ ИОНОВ ДЛЯ АНАЛИЗА ТВЕРДЫХ ТЕЛ МОСКВА ЭНЕРГ0АТ0МИЗДАТ 1995 УДК 537. 534 Издание подготовлено при финансовой поддержке Госкомвуза России по программе. "Фундаментальные и прикладные взаимодействия плазмы с поверхности". Руководитель программы - академик Ю. А. Рыжов. Машкова Е. С. , Молчанов В. А. Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел. - М. : Энергоатомиздат, 1995. - 176 с. ISBN 5-283-03979-X Впервые систематизированы исследования, относящиеся к применению ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи для анализа объемных и поверхностных свойств твердых тел. Рассматриваются физические основы этих методов. Описана типичная аппаратура. Приведены результаты исследования состава, атомной структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел. Для научных работников и инженеров в области физической электроники, радиационной физики твердого тела, микроэлектроники, физики плазмы, аналитического приборостроения, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей. Табл. 2. Ил. 80. Библиогр. : 133 назв. Рецензент В. В. Плетнев 16040800004126 II Без объяви. 051(01)95 ISBN 5-283-03979-Х ©Авторы, 1995 ПРЕДИСЛОВИЕ В последние годы наряду с традиционными методами анализа состава, структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел, таких, как рентгеноструктурный анализ, дифракция быстрых и медленных электронов, оже-электронная спектроскопия и др. , все большее распространение получают методы, основанные на рассеянии ионов твердыми телами. Не заменяя упомянутых выше аналитических методов, методы ионно- рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи в ряде случаев дают более прямую информацию как о статических, так и о динамических свойствах объема и поверхности твердого тела. Расширение применения ионно-рассеивательных методов связано в большой степени с развитием ионно-лучевых и ионно-плазменных методов модификации материалов, широко используемых в микроэлектронике, оптоэлектронике, космической и термоядерной технологиях. В книге сделана попытка, не входя в детали конкретных экспериментов, очертить круг проблем, которые успешно решаются с использованием методов ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи. Показано, что диапазон этих задач достаточно широк - от качественного и количественного анализа элементного состава твердых тел и границ раздела до таких тонких особенностей, как релаксация и реконструкция поверхностей и границ раздела, морфология и структура тонких пленок на поверхностях твердых тел, структура границ раздела и динамические свойства твердых тел, включая фазовые переходы и тепловые колебания поверхностных атомов. Методы ионно-рассеивательной спектроскопии находятся в стадии быстрого развития, поэтому появляются и другие области ее применения, не нашедшие отражения в настоящей книге. Мы надеемся, что книга окажется полезной не только специалистам, вовлеченным в исследования с использованием ионных пучков и ионно-плазменной технологии, но и широкому кругу специалистов технологического профиля.