Л. А. Губанова
ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
Санкт-Петербург
2003
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ 3
1 Лабораторная работа №1
Определение условий изготовления просветляющих
покрытий осаждением плёнкообразующих веществ в
вакууме 6
2 Лабораторная работа №2
Исследование металлодиэлектрических зеркал 17
3 Лабораторная работа №3
Изготовление и исследование характеристик
узкополосных диэлектрических фильтров 25
4 Лабораторная работа №4
Исследование факторов, влияющих на характеристики
спектроделителей 33
5 Лабораторная работа №5
Исследование влияния условий осаждения
металлических слоёв на характеристики нейтральных
фильтров на основе титана 52
6 Заключение 59
7 Приложение 61
Введение
Внедрение оптических приборов и методов исследования в различные
области науки и техники приводит к необходимости создания многослойных
диэлектрических, металлодиэлектрических систем не только с
расширяющимися требованиями к их свойствам, но и возможному их
сочетанию. Это в первую очередь оптические, физико-механические,
химические и другие свойства. Из оптических свойств следует упомянуть
непрерывно расширяющей спектральный диапазон работы приборов,
ужесточение требований к лучевой стойкости и прочности покрытий,
сочетание возможности отражения (пропускания) и формирования волнового
фронта отражённого (прошедшего) излучения. В некоторых случаях требуется
работа покрытия со сходящимися или расходящимися пучками, т. е. ужесточаются требования к их поляризационным свойствам. Поэтому
разумно рассмотреть отдельные типы покрытий: просветляющие,
(антиотражающе), зеркальные, свето- и спектроделительные, фильтрующие и
поляризующие.
Особой задачей, связанной со свойствами оптических
материалов является осаждение покрытий на нестойких стёклах, кристаллах и
полимерах. Плёнки, нанесённые на преломляющие и отражающие грани оптических
элементов позволяют формировать требуемые, разнообразные спектральные
кривые, которые могут быть получены благодаря уникальным свойствам
тонкоплёночных систем. Незначительная масса и относительная простота
реализации (например, путём термического или электронно-лучевого
испарения вещества в вакууме) позволяют широко применять
интерференционные покрытия. Просветляющие покрытия. Основная, почти классическая задача,
просветляющих покрытий - увеличение спектрального диапазона и уменьшение
остаточного отражения. Решение её при создании покрытий, работающих в
широком спектральном диапазоне, включающем ультрафиолетовую, видимую и
ближнюю инфракрасную часть спектра, осложняется тем, что оно существенно
зависит от показателя преломления просветляемого материала.