В. И. Поляков, Э. В. Стародубцев
Проектирование тонкопленочных
гибридных интегральных
микросхем
Учебное пособие по дисциплине
«Конструкторско-технологическое
обеспечение производства ЭВМ»
Санкт-Петербург
2013
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ
ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И ОПТИКИ
В. И. Поляков, Э. В. Стародубцев
Проектирование тонкопленочных
гибридных интегральных
микросхем
Учебное пособие по дисциплине
«Конструкторско-технологическое
обеспечение производства ЭВМ»
Санкт-Петербург
2013
1
УДК 621. 38. 049. 77(075)
Поляков В. И. , Стародубцев Э. В. Проектирование гибридных тонкопле-
ночных интегральных микросхем: учебное пособие по дисциплине
«Конструкторско-технологическое обеспечение производства ЭВМ» –
Санкт-Петербург: НИУ ИТМО, 2013. – 80 c. В пособии изложен материал по проектированию
тонкопленочных гибридных интегральных схем. Описаны методы
получения тонких пленок. Рассмотрены основные принципы
проектирования топологии гибридных интегральных схем и методика
расчета тонкопленочных резисторов и конденсаторов. В приложении
приводятся варианты заданий. Пособие предназначено для самостоятельной работы студентов
специальностей 230100 и 231000, изучающих дисциплину
«Конструкторско-технологическое обеспечение производства ЭВМ». В 2009 году Университет стал победителем многоэтапного кон-
курса, в результате которого определены 12 ведущих университетов
России, которым присвоена категория «Национальный исследователь-
ский университет». Министерством образования и науки Российской
Федерации была утверждена программа его развития на 2009–2018 го-
ды. В 2011 году Университет получил наименование «Санкт-
Петербургский национальный исследовательский университет инфор-
мационных технологий, механики и оптики».
Санкт-Петербургский национальный исследовательский
университет информационных технологий, механики и оптики, 2013
В. И. Поляков, Э. В. Стародубцев, 2013
2
Содержание
Введение 4
1. Классификация интегральных микросхем 5
2. Тонкие пленки в электронно-вычислительной аппаратуре 8
2. 1. Методы получения тонких пленок 8
2. 2. Материалы подложек ГИС 18
3. Разработка топологии ГИС 21
3. 1. Алгоритм разработки ГИС 21
3. 2. Данные для расчета размеров элементов ГИС 22
3. 3. Основные ограничения на топологию ГИС 23
3. 4. Основные принципы проектирования топологии ГИС 24
3. 4. 1.