Гае рилов Сергей Николаевич и
Никулин Станислав Михайлович
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Редактор С. А. Гаряинов
Технический редактор Л. М. Кузнецова Корректор Г. Г. Желтова
Сдано в набор 15/Х 1969 г. Формат 84Х108»/8«
Усл. печ. л. 4,2
Тираж 40 000 экз. Издательство . Энергия
Подписано к печати 28/V 1970 г. Цена 24
С. Москва, Ж-П4,
Т-06385
Бумага типографская № 2
коп. Шлюзовая наб. ,
Уч.
, 10.
-изд. л. 5,98
Зак. 2528
Московская типография № 10 Главполиграфпрома
Комитета по печати при Совете Министров СССР. Шлюзовая наб. . 10. МАССОВАЯ РАДИОБИБЛИОТЕКА
Выпуск 741
С. Н. ГАВРИЛОВ и С. М. НИКУЛИН
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
щ
«ЭНЕРГИЯ»
МОСКВА 1970
6Ф2. 13
Г 12
УДК 621. 396. 6-181. 48
РЕДАКЦИОННАЯ КОЛЛЕГИЯ
Берг А. И. , Борисов В. Г. , Бурдейный Ф. И. , Бурлянд В. А. ,
Ванеев В. И.
, Геништа Е. Н. , Жеребцов И. П. , Канаева А. М. ,
Корольков В. Г. , Кренкель Э. Т. , Куликовский А. А. , Смирнов А. Д. ,
Тарасов Ф. И. , Шамшур В. И. С. Н. Гаврилов и С. М. Никулин
Г 12 Микроэлектроника, М. , «Энергия», 1970-
80 стр. с илл. (Массовая радиобиблиотека, вып. 741). В брошюре рассказано об основных проблемах и методах
интегральной микроэлектроники и перспективах ее развития. Брошюра рассчитана на широкий круг радиолюбителей. S-4-5 ^ л
328^9 6Ф2ЛЗ
ПРЕДИСЛОВИЕ
Термин «микроэлектроника» отражает два основных
направления, лежащих . в основе технологии современной
радиоэлектроники, — интеграцию и микроминиатюризацию. Основные изменения, происходящие в настоящее время в
радиоэлектронике, обусловлены внедрением принципа интеграции,
объединения элементов и функций устройств в одном твердом теле. Повышение степени интеграции означает повышение надежности
устройств и делает возможным увеличение их сложности. Но, кроме ограничения по надежности и сложности, развитие
радиоэлектроники сдерживают ограничения по стоимости, весу,
объему устройств и потребляемой ими мощности, а также
затруднения, обусловленные специфическим характером электроники,
сравнительной сложностью научных методов, оборудования и
технологии. Эти затруднения в известной мере можно преодолеть на базе
комплексной микроминиатюризации радиоэлектронных устройств,
т. е. посредством предельно возможного уменьшения габаритов,
веса устройств и потребляемой ими мощности. Микроминиатюризация облегчает внедрение принципа интеграции и наоборот
интеграция создает благоприятные условия для осуществления
микроминиатюризации. Внедрение в радиоэлектронику принципов интеграции и
микроминиатюризации, создание промышленности интегральной
микроэлектроники позволяет решить основные проблемы: повышение
надежности и снижение себестоимости изделий радиоэлектроники, что
открывает перспективу повышения функциональной сложности и
эффективности радиоэлектронной аппаратуры. Развивающийся процесс перехода от дискретной электроники
к микроэлектронике порождает много частных и общих задач и
проблем, решение которых находит свое отражение в большом
количестве появляющихся публикаций. В настоящей брошюре, написанной по материалам зарубежных
источников, рассматриваются основные проблемы и методы
микроэлектроники.