УДК 543. 51
быковский Ю. А. , Невопи'н В. Н. Лаэерная macc-спектромеТРИR. ! М. :
Энерrоатомиздат, 1985. 128 с. , ип. ОПМС8ны физические основы и annapatypHoe обеспечение высоко-
. . уаствительноrо и универсапьноrо метода элементноrо анапиза твер-
AbIX веществ
пазерной масс-спектрометрни. Рассмотрены анапитичес-
кие возможности метода при испопьзовании ero в разпичных обпастях
Н8УI<И и npoизводства. Для научных и инженерно-технических работников и TexHonoroB,
cnециализирующихсЯ в обпасти физики TBepAoro тепа, материаповеде-
НИА, разработки и испопьзования современных методов анапиза вещест-
ва, а также 'для специапистов, испопьзуЮЩИХ современные методы ана-
лиза вещества в 'rеопоrии, медицине, биопоrии, криминалистике и Т. д. Табп. 33. Ип. 63. Бибпиоrр. 141. Хараl<Теристики разрабатываемых и применяемых в настоящее время материалов
зависят от содержания в них примесей на уровне менее 10
4
10
6 %, поэтому ос-
новными требованиям н, предъяеляемыми к современному методу анапиза вещества,
flВnЯЮТСЯ высокая относитепьная н абсопютная чувствитепьность ипи низкие преде-
лы обнаружения следОВ эпементов, возможность одновременной реrистрации широ. Koro Kpyra элементов и попу'iеНИА информации о . ХИМИ'iеском cocтaBi! веществ в
отиосительно просто м виде и вне зависимости от их физико-химических свойств. Развитие эпементной базы микро- и оптоэпектроники, исследования В обпасти по-
8ерхностных явпений нарАДУ с требованиями высокой чувствитепьности опредепяют
необходимость проведения nOKanbHoro и поспойноrо анапиза с высоким разрешен... ем. Наконец, при проведении эnементноrо анапиза твердых веществ важне"шими
требованиями АВПЯЮТСЯ высок
я npзвил
ность попучаемых резупьтатов и их вос-
производимость, которые зависят в основном от зпементных дискриминаций КОН-
I
рами, которые
I<оrда-пибо изобретап человеческий ум" [1]. Последние два десятипетия характери-
зовапись крупными достиженияМи в обпасти ионной оптики, зпектроники, вакуум-
НОЙ техники и применения новых и ВЫСОКО'iуВСТВительных устройств для реrистра-
ции ионных токов. 8се это опредепипо современное состояние масс-спектрометр...
.
. ecKOro метода и ero передовую позицию в ряду физических методов исследования
и анаЛиза вещества. Возможности macc-спектрометрИ'<
коrо метода во MHoroM опредепяются спосо-
бом попучения ионов, выбором О:1тимальноrо способа извпечения и формирования
ионных ny'iKOB, а также максима,
"но возможным соответствием свойств сформиро-
BaHHoro в источнике ионноrо пучка ИОННО-ОПТИ'iеским параметрам выбранноrо
масс-спектрометра,
Масс-спектрометрический метод опредепения спедов злементов с испопьзованием
искровоrо и
'!!<. а ионов [2, 3], получивший широкое при
не
. иF. АЛR
элёмент,
HOr'O анапюа твердыХ веществ, имееt PA"Jt существенных недостатков; оёновной из
НИХ
мизкая правипыlстьb (r<оэффициент относйтёльноич'уёёТвитеnьности
КОЧ)
nany'iaeMblX ре,упь)'атов 1100
3000. ;,). С момента появления первых ОПТИ'iЕ!Ских квантовых reHepaTopoB (ОКП на твер-
дом тепе с достато'iНОЙ мощностью излучения возник интерес к исследованию воз-
можности их использован. . я для получения пазерной ппазмы и созданиЯ на зтой
fазс интенсивных источников ИО>iОВ ДЛЯ разнообразных применений и, В частности,
_
... ... . . ",
'
9'''''''''''. . ''
''''''''#''
. '
-'''' ". ... ;. :1... . . ,. . . ,... . . ,... ... ...
... ... ... .
.