В. И. Иванов, Е. В. Соколова
КРИОВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
Санкт-Петербург
2017
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
УНИВЕРСИТЕТ ИТМО
В. И. Иванов, Е. В. Соколова
КРИОВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
РЕКОМЕНДОВАНО К ИСПОЛЬЗОВАНИЮ В УНИВЕРСИТЕТЕ ИТМО
по направлению подготовки 16. 04. 03
в качестве учебного пособия для реализации основных профессиональных
образовательных программ высшего образования магистратуры
Санкт-Петербург
2017
Иванов В. И. , Соколова Е. В. Криовакуумные системы: Учебное пособие. –
СПб: Университет ИТМО, 2017. – 77 с. Рецензенты:
Игнатов Ю. Я. ,к. т. н. , ген. директор ООО «Адсорбционная техника»;
Малышев А. А. , к. т. н. , с. н. с, доцент кафедры ХТиВЭ
Изложены основы теории и конструктивные особенности криогенных
средств создания вакуума. Приводятся характеристики теплозащитных
экранов, применяемых в криовакуумных системах, и способы их
термостатирования. Излагается методика расчета процесса охлаждения
криогенных жидкостей путем вакуумирования. Дан пример расчета
криоконденсационного вакуумного насоса.
Пособие предназначено для работы студентов направления магистратуры
16. 04. 03 Холодильная, криогенная техника и системы жизнеобеспечения
очной и заочной форм обучения по дисциплинам «Криовакуумные системы»
и «Вакуумные технологии в криогенной технике». Университет ИТМО – ведущий вуз России в области информационных и
фотонных технологий, один из немногих российских вузов, получивших в
2009 году статус национального исследовательского университета. С 2013
года Университет ИТМО – участник программы повышения
конкурентоспособности российских университетов среди ведущих мировых
научно-образовательных центров, известной как проект «5 в 100». Цель
Университета ИТМО – становление исследовательского университета
мирового уровня, предпринимательского по типу, ориентированного на
интернационализацию всех направлений деятельности.
Университет ИТМО, 2017
Иванов В. И. , Соколова Е. В. , 2017
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ. …………. …………. …………. …………. ……………. . 4
1. КРИОГЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ……. . …………… 5
1. 1 Газодинамические аспекты криогенной откачки газов……… 9
1. 2 Быстрота откачки крионасоса………………………………… 10
1. 3 Коэффициент откачки и коэффициент захвата молекул газа
криоповерхностью……………………………………………… 15
1. 4 Приближенный метод определения быстроты действия
криовакуумного насоса сложной структуры………………… 19
1. 5 Конструктивные схемы криоконденсационных
вакуумных насосов……………………………………………... 21
1. 6 Криоадсорбционные вакуумные насосы……………………… 30
1. 7 Сорбционно – конденсационные насосы……………………. 37
1. 8 Низкотемпературные диффузионные насосы………………... 40
2.