Читать онлайн «Технологическая оптимизация микроэлектронных устройств СВЧ: учеб. пособие»

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Гудков, С. А. Мешков, М. А. Синельщикова, Е. А. Скороходов Рецензенты: зам. начальника отдела ОАО «Концерн Вега» канд. техн. наук А. В. Королев; канд. техн. наук, доцент В. В. Маркелов Технологическая оптимизация микроэлектронных Т38 устройств СВЧ : учеб. пособие / А. Г. Гудков, С. А. Мешков, М. А. Синельщикова, Е. А. Скороходов. — М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. — 44, [4] с. : ил. ISBN 978-5-7038-3928-7 Содержит основы теории технологической оптимизации мик- роэлектронных устройств СВЧ, систематизированные процедуры статистического моделирования, проведения оптимизации, схемы процессов технологической оптимизации, примеры их выполне- ния с указанием последовательности использования расчетных за- висимостей, а также методические рекомендации и необходимую справочную информацию. Для студентов, изучающих конструкторско-технологические проблемы микроэлектронных средств. УДК 681. 2 ББК 34. 9 © МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014 © Оформление. Издательство ISBN 978-5-7038-3928-7 МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014  ВВЕДЕНИЕ Необходимость подготовки настоящего учебного пособия обу- словлена актуальностью проблемы технологического обеспечения ускоренного развития радиоэлектронных средств (РЭС), охватыва- ющих все сферы деятельности государства — от обороны и ключе- вых отраслей промышленности до производства бытовой техники. Объемы выпуска и продаж РЭС на мировом рынке характеризуются устойчивым темпом роста до 16 % в год. Проникновение радиоэлек- троники во все сферы жизни общества расширяет спектр задач, ре- шаемых современными РЭС. Как следствие, ужесточаются требова- ния к эксплуатационным показателям, их точности и надежности. Общей тенденцией развития РЭС является увеличение рабо- чей частоты с переходом в диапазоны СВЧ и КВЧ. Устройства СВЧ отличаются чувствительностью электрических свойств к отклонениям параметров конструкции и входных воздействий, вы- званным технологическим разбросом и изменением условий экс- плуатации.