Читать онлайн «Наноэлектроника»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Кафедра микроэлектроники В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева НАНОЭЛЕКТРОНИКА Учебное пособие для студентов специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения В 3-х частях Часть 2 НАНОТЕХНОЛОГИЯ Минск 2003 УДК 621. 382(075. 8) ББК 32. 852 я 73 Б 82 Рецензент: декан физического факультета БГУ, доктор физико-математических наук профессор В. М. Анищик Борисенко В. Е. Б 82 Наноэлектроника: Учеб. пособие для студентов спец. «Микроэлект- роника» дневной формы обучения. В 3 ч. Ч. 2. Нанотехнология / В. Е. Бо- рисенко, А. И. Воробьева. – Мн: БГУИР, 2003. – 76 с. : ил. ISBN 985-444-493-7 (ч. 2). Учебное пособие составлено на основе курса лекций «Нанотехнология», читаемого студентам специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе. УДК 621. 382(075. 8) ББК 32. 852 я 73 Часть 1: Борисенко В. Е. Учеб. пособие по курсу «Наноэлектроника» для студентов специальности «Микроэлектроника» в 3 ч. Ч. 1. Основы наноэлектроники. – Мн. : БГУИР, 2001. – 48 с. : ил. ISBN 985-444-493-7 (ч. 2) © Борисенко В. Е. , Воробьева А. И. , 2003 ISBN 985-444-308-6 © БГУИР, 2003  Введение В нанотехнологии функциональные элементы и их комбинации создаются не так, как в микроэлектронной технологии, поскольку технологическая цепочка использует присущую молекулам и атомам «склонность» к образованию определенных структур атомарных размеров. Нанотехнология синтезирует элементы путем упорядоченной «сборки» конструкций из отдельных атомов, доводя до минимума количество вещества, необходимого для формирования элемента с заданными функциями. Чтобы овладеть технологией изготовления наноструктур, необходимо оперировать размерами, сравнимыми с расстоянием между атомами, т. е. в нанометровом диапазоне, что в 1000 раз меньше размеров, привычных для современной микроэлектроники. Возможность формировать наноразмерные структуры появилась с развитием традиционных методов изготовления полупроводниковых приборов, и в первую очередь, таких, как химическое осаждение из газовой фазы, молекулярно-лучевая эпитаксия и электронно-лучевая литография. Кроме того, реальные возможности создания твердотельных наноструктур значительно расширились с применением сканирующих точечных зондов и саморегулирующихся процессов. При этом нанотехнологические приемы постоянно совершенствуются, появляются все новые и новые методы.