Читать онлайн «Ионная модификация функциональных материалов : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника», 200100 «Приборостроение»»

Министерство образования и науки Российской Федерации Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина Д. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах ИОННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ Рекомендовано учебно-методическим советом Физико-технологического института УрФУ в качестве учебного пособия для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника», 200100 «Приборостроение» Екатеринбург Уральский федеральный университет 2014  УДК 539. 12. 043:621. 38-033 (075. 8) ББК 22. 338я73+32. 85-03я73 З-38 Рецензенты: Гаврилов Н. В. , доктор технических наук, заместитель директора по научным вопросам Института электрофизики УрО РАН; Курмаев Э. З. , профессор, доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник лаборатории рентгеновской спектроскопии ИФМ УрО РАН Научный редактор – профессор, доктор физико-математических наук Шульгин Б. В. Зацепин, Д. А. З-38 Ионная модификация функциональных материалов : учебное пособие / Д. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах. – Екатеринбург : УрФУ, 2014. – 104 с. ISBN 978-5-321-02359-4 В пособии изложены основные сведения о низкоразмерных полупроводниковых структурах, приведена их классификация в зависимости от функции плотности со- стояний, описан метод ионной модификации энергетического спектра электронных состояний и базовые физико-технические особенности оборудования, применяемо- го для таких целей. Пособие предназначено для студентов старших курсов вузов и аспирантов первого года обучения, работающих в области наук о материалах. Подготовлено кафедрами электрофизики и ФМПК Физико-технологического института Уральского федерального университета, лабораторией рентгеновской спектроскопии ИФМ УрО РАН и НОЦ НАНОТЕХ УрФУ. Библиогр. : 43 назв. Табл. 1. Рис. 29. УДК 539. 12. 043:621. 38–033 (075. 8) ББК 22. 338я73+32. 85–03я73 Учебное издание Зацепин Дмитрий Анатольевич, Вайнштейн Илья Александрович, Чолах Сеиф Османович ИОННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ Подписано в печать 11. 01. 2014. Формат 70×100 1/16. Бумага писчая. Плоская печать. Гарнитура Times New Roman. Уч. -изд. л. 4,5. Усл. печ. л. 8,39. Тираж 50 экз. Заказ Редакционно-издательский отдел ИПЦ УрФУ 620049, Екатеринбург, ул. С.