Читать онлайн «Химические и фазовые равновесия в технологии материалов электронной техники»

3 85 л 86 О. Ф. Луцкая д. Б. Чеснокова А. И. Максимов ХИМИЧЕСКИЕ·И ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ В ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Санкт-Петербург 2005  Федеральное агентство по образованию Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" О. Ф. ЛУЦКАЯ Д. Б. ЧЕСНОКОВА А. И. МАКСИМОВ ХИМИЧЕСКИЕ И ФАЗОВЬШ РАВНОВЕСИЯ В ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ: Учебное пособие Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинскойтехники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов,654100 "Электроника и микроэлектроника" Санкт-Петербург Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ" 2005 УДК 621. 315. 592:544 ВВЕДЕНИЕ ББК 385-03-06 я7 Химические и фазовые равновесия лежат в основе технологических про­ Л87 цессов твердотельной электроники. Одна из г. лавныхзадач современной тех­ нологии материалов и компонентовэлектронной техники - создание полупро­ л 87 Луцкая О. Ф. , Чеснокова Д. Б. , Максимов А. И. Химические и фазовые водниковых и диэлектрических материалов с контролируемыми свойствами и равновесия в технологии материалов электронной техники: Учеб. твердых растворов на их основе. Такие материалы чаще всего являются фаза­ пособие. СПб. : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2005. 84 с. ми переменного состава, электрофизические свойства которых в первую оче­ редь определяются типом и концентрацией собственных и примесных точеч­ ISBN 5-7629-0684-2 ных дефектов. Физико-химическое управление электрофизическими свойст­ вами полупроводниковых материалов - это прежде всего целенаправленное, Рассмотрены физико-химические аспекты технологии материалов закономерное и контролируемое изменение состава фазы в пределах области электронной техники, детально изложены некоторые разделы термодинами­ гомогенности, связанное с контролируемымизменением типа и концентрации ки химических и фазовых равновесий, которые служат основой технологии точечных дефектов.