Читать онлайн «Технология тонких пленок: учебное пособие для вузов»

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ МОСКОВСКИЙ ИНЖЕНЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ) С. В. Антоненко ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений Москва 2008 ББК 22. 37я7 УДК 539. 23 (075) А72 Антоненко С. В. Технология тонких пленок: Учебное пособие. М. : МИФИ, 2008. – 104 с. Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. Пособие подготовлено в рамках Инновационной образовательной программы. Рецензент канд. физ. -мат. наук А. А. Лаврухин ISBN 978-5-7262-1036-0 © Московский инженерно-физический институт (государственный университет), 2008  ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие………………………………………………… 5 Глава 1. Общие закономерности роста пленок... ... ... ... ... . . 6 1. 1. Основные типы тонких пленок и методы их формирования………………………………………. . 6 1. 2. Подложки……………………………………………. 9 1. 2. 1. Материалы подложек………………………………. 9 1. 2. 2. Свойства подложек…………………………………. 11 1. 3. Подложки и их поверхность………………………. . 12 1. 3. 1. Требования, предъявляемые к подложкам………… 12 1. 3. 2. Поверхность подложек……………………………… 14 1. 4. Десорбция и очистка подложек……………………. 16 1. 4. 1. Сорбция и десорбция………………………………. . 16 1. 4. 2. Очистка подложек…………………………………… 16 1. 5. Синтез пленок………………………………………. 18 1. 5. 1. Процессы формирование пленок…………………. . 18 1. 5. 2. Зародышеобразование………………………………. 19 1. 6. Рост пленок от зародышей до сплошного покрытия 21 1. 6. 1. Зародышевый рост пленок……………... ... ... ... ... ... ... 21 1. 6. 2. Послойный и спиральный рост пленок…………… 23 1. 7. Эпитаксия……………………………………………. 24 1. 7. 1. Процессы роста эпитаксиальных слоев…………… 24 1. 7. 2. Монослой……………………………………………. . 27 1. 8. Низкоразмерные монокристаллы…………………. . 28 1. 9. Немонокристаллические структуры ………………. 30 1. 10. Образование дефектов роста пленок………………. 34 Глава 2. Свойства пленок и их изучение ……………. ... . . 37 2. 1. Устройства по контролю роста пленок …………… 37 2. 2.