Читать онлайн «Объёмные интегральные схемы СВЧ - элементная база аналоговой и цифровой электроники»

ПРОБЛЕМЫ НАУКИ И ТЕХНИЧЕСКОГО ПРОГРЕССА В. И. ГВОЗДЕВ, Е. И. НЕФЁДОВ ОБЪЕМНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЧ—ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА АНАЛОГОВОЙ И ЦИФРОВОЙ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ ш МОСКВА «НАУКА» ГЛАВНАЯ РЕДАКЦИЯ ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 1987 ББК 22. 33 Г25 УДК 537(023) Рецензент доктор физико-математических наук Б. М. Бодотовский Гвоздев В. И. , Нефёдов Е. И. Г 25 Объемные интегральные схемы СВЧ—элементная база аналоговой и цифровой радиоэлектроники. — М. : Наука. Гл. ред. физ. -мат. лит. , 1987. — 112 с, ил. — (Пробл. науки и техн. прогресса) 40 коп. , 15000 экз. Изложены новые идеи разработки базовых элементов функциональных устройств на основе интегральных схем, открывающих большие возможности для улучшения массогабаритиых, радиационных и других параметров современной радиоэлектронной аппаратуры СВЧ диапазона, развития систем цифровой обработки информации, перспективы создания элементной базы для сверхбыстродействующих ЭЦВМ. Для научно-технических работников различных отраслей промышленности, занимающихся проблемами радиоэлектроники, вычислительной техники, интегральной технологии в приборостроении. © Издательство «Наука». Главная редакция физико-математической литературы, 1987 ПРЕДИСЛОВИЕ Там, где прежде были границы науки, там теперь ее центр. J Г. К- Лихтенберг 1) Современные радиофизика, радиоэлектроника (РЭ) и в целом системы для обработки больших массивов информации неуклонно следуют по пути изучения и освоения все более коротковолновых диапазонов электромагнитных волн, а также волн другой природы: акустоэлектронных, магнито- статических и др. [1]. В последнее десятилетие весьма интенсивно исследуются и технически осваиваются диапазоны коротких волн — сантиметровых, миллиметровых, субмиллиметровых и световых. Эффективность научного и технического освоения и использования в народном хозяйстве и в прикладных проблемах достижений радиофизики и радиоэлектроники существенно зависит от состояния и возможностей элементной базы: источников и приемников излучения, канализирующих, излучающих и колебательных систем и других компонентов аппаратуры. Особое значение приобретают новые методы построения устройств СВЧ, основанные на планарных [2,5J интегральных схемах (ИС) или (и) объемных интегральных схемах (ОИС) [3, 4]. ОИС СВЧ являются в настоящее время высшим этапом развития идей интегральной технологии в приборостроении. В ОИС СВЧ структурах радиосигнал обрабатывается не только в плоскости схемы (планарные ИС), но и «по вертикали» (ОИС). Использование трехмерной конструкции расположения базовых элементов (БЭ) и обработка сигнала во всем объеме открывают, с одной стороны, широкие возможности улучшения электродинамических, массогабарит- ных, климатических, радиационных и других параметров радиофизической, радиоэлектронной, вычислительной аппаратуры (например, только использование трехмерной конструкции расположения микропроцессоров в ЭЦВМ позволило увеличить быстродействие на порядок), но, с другой — требуют интенсивной разработки новых адекватных физических- и математических моделей БЭ, создания г) Лихтенберг Г.