Читать онлайн «Физические основы микроэлектроники. Учебное пособие»

В. Ф. ПОПОВ ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ • ИЗДАТЕЛЬСТВО ТГТУ •  МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ТАМБОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ В. Ф. ПОПОВ ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ТАМБОВ • ИЗДАТЕЛЬСТВО ТГТУ • 2001 УДК 621. 38(075. 8) ББК з 844. 1 я 73-5 П58 Утверждено Редакционно-издательским советом университета Рецензенты: Доктор физико-математических наук, профессор В. А. Федоров Кандидат технических наук, доцент А. В. Артемова В. Ф. Попов П58 Физические основы микроэлектроники: Учебно-метод. пособ. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2001. 116 с. Учебно-методическое пособие по курсу "Физические основы микроэлектроники» написано в полном соответствии с Программой Министерства образования РФ и представляет собой краткое введение в теорию широкого круга явлений, с которыми приходится непосредственно иметь дело конструктору и технологу радиоэлектронной аппаратуры. Его цель – помочь понять физическую сущность тепловых и электрических свойств твердых тел, контактных и поверхностных явлений в полупроводниках. Предназначено для студентов дневного и заочного отделений специальности 2008, а также студентов других специальностей, желающих систематизировать свои знания в области физики твердого тела. УДК 621. 38(075. 8) ББК з 844. 1 я 73-5 © Тамбовский государственный технический университет (ТГТУ), 2001 © Попов В. Ф. , 2001  УЧЕБНОЕ ИЗДАНИЕ ПОПОВ Владимир Федорович ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ Редактор М. А. Е в с е й ч е в а Инженер по компьютерному макетированию Т. А. С ы н к о в а ЛР № 020851 от 13. 01. 99 Плр № 020079 от 28. 04. 97 Подписано в печать 21. 12. 2001 Формат 60 × 84 / 16. Бумага офсетная. Печать офсетная. Гарнитура Times New Roman. Объем: 6,74 усл. печ. л. ; 6,5 уч. -изд. л. Тираж 100 экз. C. 871М Издательско-полиграфический центр Тамбовского государственного технического университета, 392000, Тамбов, Советская 106, к. 14  1 КОРПУСКУЛЯРНО-ВОЛНОВОЙ ДУАЛИЗМ К началу XX в. физики пришли к мнению, что объекты микромира проявляют как волновые, так и корпускулярные свойства.