Федеральное агентство по образованию
Физика твердотельных структур
Учебное пособие для вузов
Составители:
Лукин Анатолий Николаевич
Тутов Евгений Анатольевич
Воронеж 2007
2
Утверждено Научно-методическим советом физического факультета
27 марта 2007 г. , протокол № 3. Рецензент зав. кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники,
доктор физико-математических наук, профессор Бормонтов Евгений
Николаевич
Учебное пособие подготовлено на кафедре физики твердого тела и нано-
структур физического факультета Воронежского государственного уни-
верситета. Рекомендовано для студентов физического факультета дневной формы
обучения
Для специальности: 010409 – Физика твердого тела
3
1. Работа №1. Изучение свойств электронно-дырочного перехода
Цель работы – изучение физики работы электронно-дырочного перехода
при различных температурах на примере плоскостного диода.
1. 1. Основные определения
Полупроводниковый диод – это прибор с одним выпрямляющим
электрическим переходом и двумя внешними выводами, в котором исполь-
зуется то или иное свойство выпрямляющего перехода. В качестве послед-
него в полупроводниковых диодах могут быть электронно-дырочный пе-
реход, гетеропереход или контакт металл – полупроводник. Обычно полупроводниковые диоды имеют несимметричные элек-
тронно-дырочные переходы. Поэтому при прямом включении диода коли-
чество неосновных носителей, инжектированных из сильнолегированной
области в слаболегированную область, значительно больше, чем количест-
во неосновных носителей, переходящих в противоположном направлении.
В соответствии с общим определением, область полупроводникового дио-
да, в которую происходит инжекция неосновных для этой области носите-
лей, называют базой диода. Таким образом, в диоде базовой областью яв-
ляется слаболегированная область. Характеристической длиной для диода является наименьшая из двух
величин, определяющая свойства и характеристики диода: диффузионная
длина неосновных носителей в базе или толщина базы. Плоскостным называют диод, линейные размеры которого, опреде-
ляющие площадь выпрямляющего перехода, значительно больше характе-
ристической длины. Точечным называют диод, у которого линейные размеры, опреде-
ляющие площадь выпрямляющего перехода, значительно меньше характе-
ристической длины.
1. 2. Потенциальный барьер в p-n переходе
Рассмотрим процесс установления термодинамического равновесия в
несимметричном p-n переходе с резким изменением типа проводимости на
границе и получим выражение для контактной разности потенциалов. Обозначим концентрацию дырок в дырочной области рр, концентра-
цию электронов в электронной области nn (основные носители), концен-
трацию дырок в электронной области pn, концентрацию электронов в ды-
рочной области np (неосновные носители), толщину области объемного за-
ряда d, площадь p-n перехода S. В невырожденных, но достаточно сильно легированных полупро-
водниках концентрации электронов в полупроводниках n – типа и дырок в
4
полупроводниках p – типа велики по сравнению с собственной концентра-
цией носителей ni:
nn >> ni, рр >> ni (*)
Из уравнения электронейтральности ( p + N ∂* ) − (n + N a* ) , где N ∂* – число
дырок на донорных уровнях, N a* – число электронов на акцепторных уров-
нях, для полупроводников p – и n – типа, содержащих соответственно
только донорные атомы с концентрацией Nд или акцепторные с концен-
трацией Na следует:
nn = Nд + рn, (**)
рр = Na + np
В этих равенствах учтено, что в рабочем диапазоне температурные
примесные атомы, образующие мелкие уровни в запрещенной зоне, как,
например, атомы III и V групп Периодической системы в Ge и Si, практи-
чески полностью ионизированы.