Читать онлайн «Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств»

УТВЕРЖДАЮ Декан химического факультета Ю. Г. Слижов 14 марта 2014 г. СИНТЕЗ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ИЗУЧЕНИЕ ИХ СВОЙСТВ Учебно-методическое пособие Издательский Дом Томского государственного университета Томск 2014 38  РАССМОТРЕНО И УТВЕРЖДЕНО методической комиссией химического факультета Протокол № 15 от 18. 02. 2014 г. Председатель комиссии, доцент В. В. Хасанов Учебно-методическое пособие «Синтез тонкопленочных мате- риалов и изучение их свойств» предназначено для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04. 04. 01, 04. 03. 01 ‒ Химия, профили подготовки – Химия твердого тела и химия материалов). ISBN 978-5-9462-1434-6 Составители: канд. хим. наук, доцент С. А. Кузнецова; д. т. н. , профессор В. В. Козик; д. т. н. , профессор Л. П. Борило; д. х. н. , профессор В. К. Иванов Рецензент: д. т. н. , профессор ТГАСУ С. В. Смирнов 2  Содержание Введение ………………………………………………………………………... . . 4 Последовательность выполнения и основные этапы работы ……………. . …. . 5 Математическое планирование эксперимента ……………………………. …. . 6 Этап 1. Обработка подложек …………………………………………………... . 6 Этап 2. Синтез тонкопленочных материалов ………………………………. … 8 Этап 3. Определение толщины и оптических характеристик пленок ……. …. 12 Этап 4. Изучение кинетики формирования пленок из ПОР с использованием пьезокварцевых весов …………………………………. 26 Этап 5. Изучение адгезии и пористости пленок ………………………………. 28 Этап 6. Электрофизические исследования пленок ……………………………. 35 Литература ………………………………………………………………………. 43 Приложения ……………………………………………………………………… 45 3  Введение Развитие современной техники требует создания новых материа- лов. Химия твердых веществ является тем базовым разделом неорга- нической химии, который позволяет осуществить целенаправленный синтез (ЦС) веществ в виде кристаллов, пленок и изготавливать из них необходимые материалы. Тонкие пленки играют важную роль в развитии современной тех- ники и являются хорошим модельным объектом для изучения физи- ко-химических свойств твердофазного состояния вещества, наиболее полно отражая его поверхностные свойства и реакционную способ- ность. Небольшие толщины пленок заставляют считаться с размер- ным эффектом, влияющим на большую часть физико-химических свойств. Существенным является отношение площади поверхности к объему твердого тела, т. е. сказывается так называемый фактор дис- персности: ƒдисп = S0/V.