ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ РФ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
«НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО»
ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ
Кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ МНОГОСЛОЙНЫЕ ЗЕРКАЛА
В ОПТОЭЛЕКТРОНИКЕ
(лабораторная работа по курсу «Физико-химические основы технологии»)
Нижний Новгород, 2007
2
Учебно-методические материалы подготовлены в рамках
инновационной образовательной программы ННГУ:
Образовательно-научный центр
«Новые многофункциональные материалы и нанотехнологии»
Национального проекта «Образование»
УДК 621. 315. 592:61
Интерференционные многослойные зеркала в оптоэлектронике: Лаборатор-
ная работа по курсу «Физико-химические основы технологии» / Сост. А. В. Ершов, И. А. Карабанова. – Н. Новгород: ННГУ, 2007. – 26 с. Настоящее описание предназначено для студентов старших курсов физиче-
ского факультета ННГУ, обучающихся по специальности 210601 – «Нанотех-
нология в электронике». Рис. 8. Табл. 6. Составители: канд. физ. -мат. наук, доцент А.
В. Ершов
ведущий электроник И. А. Карабанова
Рецензент: канд. физ. -мат. наук, доцент В. В. Карзанов
Нижегородский государственный университет
им. Н. И. Лобачевского, 2007
3
ВВЕДЕНИЕ
Явление интерференции света в многослойных периодических систе-
мах из прозрачных материалов с разными показателями преломления нашло
ряд важных применений в современной оптоэлектронике. К ним следует от-
нести разработку пассивных элементов оптоэлектроники – в частности мно-
гослойных интерференционных покрытий – таких, как просветляющие по-
крытия, полосовые светофильтры, зеркала, поляризаторы и ослабители [1]. Основы проектирования просветляющих покрытий были развиты при-
менительно к нуждам оптики: просветление объективов визуальной, фото-
графической и приборной оптики. Появление лазеров и соответствующей
техники потребовало освоения разработки качественных интерференцион-
ных зеркал. Другие, из перечисленных выше, интерференционные покрытия
были освоены при совершенствовании аппаратуры волоконно-оптических
линий связи. Целью данной лабораторной работы является теоретическое и практи-
ческое изучение основ разработки интерференционных многослойных зеркал
и их получение методом электроннолучевого испарения в вакууме. Многослойные интерференционные зеркала обычно формируют на ос-
нове диэлектрических материалов с разными показателями преломления, из-
за чего их часто еще называют диэлектрическими зеркалами. По сравнению с
металлическими интерференционные зеркала имеют ряд преимуществ:
1) они обладают бóльшим коэффициентом отражения (вплоть до 99. 9 %);
2) они позволяют достигнуть существенно меньших потерь света на погло-
щение в зеркале, что имеет решающее значение для повышения качества
интерференционной аппаратуры;
3) применение интерференционных зеркал позволяет преодолеть ограниче-
ния, налагаемые природой металлического отражения, и намного расши-
рить рабочий диапазон длин волн;
4) имеется возможность изготовлять коррозионноустойчивые интерферен-
ционные зеркала с любым заданным коэффициентом отражения;
5) интерференционные зеркала могут быть изготовлены таким образом, что,
обладая высоким коэффициентом отражения в одной области спектра,
они оказываются почти прозрачными для других длин волн, что открыва-
ет целый ряд новых возможностей при конструировании оптической ап-
паратуры.