ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ РФ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
«НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО»
ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ
Кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники
ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ В ОПТОЭЛЕКТРОНИКЕ. ПРОЕКТИРОВАНИЕ, МАТЕРИАЛЫ, ОСОБЕННОСТИ
ТЕХНОЛОГИИ
(лабораторная работа по курсу «Физико-химические основы технологии»)
Нижний Новгород, 2007
2
Учебно-методические материалы подготовлены в рамках
инновационной образовательной программы ННГУ:
Образовательно-научный центр
«Новые многофункциональные материалы и нанотехнологии»
Национального проекта «Образование»
УДК 621. 315. 592:61
Просветляющие покрытия в оптоэлектронике. Проектирование, материалы,
особенности технологии: Лабораторная работа по курсу «Физико-
химические основы технологии» / Сост. А. В. Ершов, А. И. Машин. – Н. Нов-
город: ННГУ, 2007. – 28 с. Настоящее описание предназначено для студентов старших курсов физиче-
ского факультета ННГУ, обучающихся по специальности 210601 – «Нанотех-
нология в электронике». Рис. 7. Табл. 1. Составители: канд. физ. -мат. наук, доцент А. В. Ершов
докт. физ.
-мат. наук, профессор А. И. Машин
Рецензент: канд. физ. -мат. наук, науч. сотр. НИФТИ ННГУ А. Н. Михайлов
Нижегородский государственный университет
им. Н. И. Лобачевского, 2007
3
ВВЕДЕНИЕ
Просветление поверхностей элементов оптических систем использует-
ся по двум причинам. Во-первых, − для уменьшения потерь интенсивности
падающего излучения на отражение, т. е. увеличения пропускной способно-
сти оптического элемента. Это особенно актуально сейчас при разработке
различных фотоприемных устройств, в частности солнечных элементов. Во-
вторых, если на плоскость изображения попадает свет, претерпевший много-
кратные отражения от поверхностей элементов (так называемые “блики”), то
это приводит к уменьшению контраста и четкости изображения. Создание
антибликовых покрытий за счет их просветления особенно актуально при
разработке устройств отображения информации: электровакуумных монито-
ров, кинескопов, а также входных оптических систем фото- и видеоаппарату-
ры [1]. На рис. 1 приведены зависимости вычисленного по формуле Френеля
[2] коэффициента отражения R на границе раздела сред воздух−вещество и
коэффициента пропускания Т плоскопараллельной пластинки из того же ве-
щества от показателя преломления вещества n. Этот рисунок красноречиво
показывает, насколько велики могут быть потери на отражение оптических
систем из различных материалов, которые в реальных случаях могут быть
гораздо выше для более чем одной пластины из разных веществ.
100
80 1− R
T= ;
T 1+ R
T R %
60
2
40 1 − n
R=
R 1 + n
20
0
1 2 3 4 5 6
n
Рис. 1.