Читать онлайн «Оптические системы двухлучевых интерферометров. Часть 3»

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана Д. Т. Пуряев, Н. Л. Лазарева, А. В. Иконина ОПТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ДВУХЛУЧЕВЫХ ИНТЕРФЕРОМЕТРОВ Часть 3 Под редакцией Д. Т. Пуряева Рекомендовано УМО по образованию в области приборостроения и оптотехники в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 200200 «Оптотехника» и специальности 200203 «Оптико-электронные приборы и системы» Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2006 УДК 531. 715(075. 8) ББК 22. 343. 4 П 88 Рецензенты: Е. Ф. Ищенко, Ю. И. Беззубов Пуряев Д. Т. , Лазарева Н. Л. , Иконина А. В. П 88 Оптические системы двухлучевых интерферометров: Учеб. пособие. – Ч. 3 / Под ред. Д. Т. Пуряева. – М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2006. – 60 с. : ил. Рассмотрены оптические системы интерферометров для контроля асферических поверхностей среднего и большого диаметров методом компенсации аберраций нормалей, а так- же конструктивные особенности, параметры и характеристики наиболее важных элементов этих интерферометров. Для студентов, обучающихся по направлению подго- товки «Оптотехника» при изучении дисциплин «Оптиче- ские измерения», «Оптические измерительные и контрольно- юстировочные приборы», «Исследование и контроль оптиче- ских систем». Может использоваться при курсовом и диплом- ном проектировании и выполнении квалификационных работ. УДК 531. 715(075. 8) ББК 22. 343. 4 c МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2006  ВВЕДЕНИЕ В первой и второй частях учебного пособия «Оптические си- стемы двухлучевых интерферометров» рассмотрены элементы те- ории двухлучевых интерферометров, способы и устройства для получения когерентных волновых фронтов, а также интерфероме- тры различного назначения [1, 2]. Кроме того, описаны оптические системы современных интерферометров для контроля плоских и сферических поверхностей. Третья часть учебного пособия посвя- щена оптическим системам интерферометров для контроля формы асферических поверхностей вращения. В большинстве интерферометров для контроля плоских и сфе- рических поверхностей используется принцип автоколлимации лу- чей рабочего пучка от контролируемой поверхности. С этой це- лью в оптические системы интерферометров устанавливают эле- мент, который формирует либо плоский, либо сферический вол- новой фронт. При этом создается нормальное падение лучей на контролируемые поверхности. Если форма поверхности идеальна, структура отраженного пучка остается без изменений. Поэтому при плоской контролируемой поверхности отраженный пучок бу- дет строго параллельным, а соответствующий ему волновой фронт – плоским. Идеальной сферой при отражении формируется гомо- центрический пучок лучей (строго сферический волновой фронт).