Читать онлайн «Учетная политика организации: Рабочая тетрадь»

Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» Министерство образования и науки Российской Федерации Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова Кафедра микроэлектроники Измерение параметров пленочных структур Методические указания по выполнению лабораторных работ Ярославль 2004 1 Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» ББК В 379. 2я73 И 37 УДК 53:372. 8 Составитель С. П. Зимин Измерение параметров пленочных структур: Метод. указания по выполнению лабораторных работ / Сост. С. П. Зимин; Яросл. гос. ун-т. Ярославль, 2004. 36 с. В методических указаниях содержатся теоретические сведения и излагается порядок выполнения лабораторных работ. Выполнено в соответствии с государственным образовательным стандартом. Предназначены для студентов, обучающихся по специальности 014100 Микроэлектроника и полупроводниковые приборы (дисцип- лина «Физика тонких пленок и низкоразмерные структуры» блок ДС), очной формы обучения. Ил. 12. Табл. 1. Библиогр. : 17 назв. Рецензент: кафедра микроэлектроники Ярославского государст- венного университета им. П. Г. Демидова © Ярославский государственный университет, 2004 © С. П. Зимин, 2004 2 Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» Лабораторная работа № 1 Методы измерения толщины тонких пленок Цель работы – ознакомление с методами измерения толщины пленочных структур и глубины залегания p-n переходов при диффу- зионных процессах.