Читать онлайн «Микроэлектроника»

И. Е. ЕФИМОВ И. Я. КОЗЫРЬ Ю. И, ГОРБУНОВ МИКРО' ЭЛЕКТРОНИКА Ф изические и технологические основы , надежность Издание втор ое, п е рера б о тан ное и д о по л нен ное Д опущ ено М и н истерство м вы сш его и среднего специального о бр а зо ван и я С С С Р в качестве уче б н о го пособия для студ ентов приборостроительны х специальностей вузо в МОСКВА* ВЫ СШ АЯ ШКОЛА‘ 1986 Б Б К 32. 844 Е 91 У Д К 621. 382 Рецензент— кафедра «Конструирование и технология Р Э А » Московского авиационного института им. Серго Орджоникидзе (зав. кафедрой д-р техн. наук, проф. Б. Ф . Высоцкий) Ефимов И. Е. , Козырь И. Я. , Горбунов Ю. И. Е91 Микроэлектроника. Физические и технологические основы надежность: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов. - 2-е изд. , перераб. и доп. — М. : Высш. ш к„ 1986. — 464 с. : ил В книге и з л о ж е н ы осно вн ы е принципы и нап равлени я р азв и ти я чикроэлектроиикн; лрнееде! к л а сси ф и к ац и я изделий м икроэлектроники и их о б щ ая х а р а кте р и сти к а; описаны физико-химиче- ски е осно вы и те х н о ло ги я изго товл ен и я полупроводниковы х и гибридных И М С и Б И С . В о 2-м издании ( 1 - е — 1977 г. ) использованы последние достиж ении в р азр аб отке ИМС,, более подробно р асс м о тр е н ы новые технологически»' п роц ессы и т. д. 2403000000— 481 Е — — ■—— 136— 86 Б Б К 32. 844 (001)01 — 86 6Ф0. 3 Издательство «В ы сш ая школа», 1977 Издательство «В ы сш ая школа>, 1986, с изменениями  Предисловие Основные направления экономического и социального развития С С С Р на 1986— 1990 годы и на период до 2000 года отвечают программному требованию К П С С об ускорении экономического роста и решении таких стратегических задач, как повышение народ­ ного благосостояния, укрепление экономического потенциала, под­ держание на должном уровне оборонного могущества нашей Роди­ ны. Важнейшим направлением решения поставленных'задач являет­ ся широкое применение вычислительной техники, робототехники и информатики. Элементной базой этих направлений является микро­ электроника, объединяющая комплекс физических, химических, тех­ нологических, схемотехнических и кибернетических исследований, конструирование и производство высоконадежной, малогабаритной и высокоэкономичной радиоэлектронной аппаратуры. Крупнейшим достижением современной микроэлектроники яв­ ляется разработка и выпуск интегральных микросхем (И М С ) — функционально законченных и конструктивно оформленных микро­ электронных блоков и узлов. Интегральные микросхемы как основ­ ные изделия микроэлектроники широко используются для построе­ ния разнообразной радиоэлектронной аппаратуры, они постепенно вытесняют обычные электронные блоки и узлы на дискретных ра­ диодеталях.